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Los filtros y sistemas de filtración LITHOGUARD® de Donaldson protegen tanto a las herramientas de proceso como a los mini-ambientes contra las aminas y los contaminantes ácidos y orgánicos en fase gaseosa.
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Filtración química
Los filtros LITHOGUARD de Donaldson, destinados contra los contaminantes en fase gaseosa, ofrecen una amplia gama de protección para sus procesos y ambientes críticos. La selección de los medios de filtración apropiados asegurará la más alta eficacia en la remoción para sus necesidades específicas de control de la contaminación.
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Sistemas LITHOGUARD
Los sistemas de filtración autónomos LITHOGUARD de Donaldson ofrecen una gama de caudales para satisfacer los requisitos críticos de las herramientas de sus procesos críticos. Cuando se usan en combinación con los filtros LITHOGUARD, estos sistemas mejoran tanto el rendimiento del producto como el tiempo en servicio, amenazados por la degradación resistente, generación de halo en las lentes, corrosión y variación de la CD.
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