半導体製造用
フィルトレーション ソリューション
半導体業界で認識、信頼されているリーダーとして、当社はフィルトレーション ソリューションを開発しており、工場、ツール、ユースポイントにおける気相分子汚染物質の存在に対する懸念の高まりに対応しています。
高度な技術
ドナルドソンのフィルトレーション技術は、ツールの劣化や重要なプロセスに影響を与え、生産歩留まりに影響を与える可能性のある幅広い汚染物質に対して優れた保護とフィルター寿命を提供します。
製品性能
比類のない製品性能により、ドナルドソンは、複雑な環境での要求の厳しい高効率フィルトレーションを実現し、ますます厳しくなる生産プロセス要件を満たすための選択肢となっています。
所有コストの削減
当社の費用対効果の高い補充プログラムにより、フィルターを補充して再利用できます。これにより、交換と廃棄の費用を削減して所有コストをさらに抑えることができます。 世界中に補充ステーションを配置しているため、グローバルに事業を行うお客様のフィルトレーションニーズに対応することができます。
フォトリソグラフィー用フィルターの性能向上
空気中分子汚染（AMC）は、半導体工場の製造プロセスに問題を引き起こします。 ドナルドソンのレンズ保護システム（LPS）技術によって、ご希望の要件を満たし、さらにそれを超える最も効果的な汚染防止を実現します。
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